Conceptos basicos
Los procesos vinculados a variables no
eléctricas (típicamente las mecánicas)determinan que en los Microsistemas
aparezcan estructuras tridimensionales en el orden de los micrómetros. Uno de
los principales objetivos consiste en integrar circuitos microelectrónicos sobre
las mismas, a fin de obtener sistemas completamente integrados con las ventajas
de bajo costo, confiabilidad y pequeño tamaño que poseen los chips producidos
por la industria microelectrónica. Su estudio renueva el interés en áreas como
la Micromecánica (que se relaciona conlas partes móviles de los microsistemas),
como asi mismo la Microfluídica y otras disciplinas. Son sistemas inteligentes con
elementos de procesamiento y sensores y/o actuadores eléctricos, mecánicos, ópticos,
químicos, biológicos, magnéticos u otros en un mono omulti-chip.
La figura 2
representa la estructura de un microsistema
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